[求助] 请高手赐教聚酰亚胺衬底上镍薄膜的退火工艺

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发表于 2008-8-20 16:47:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

最近一直在做聚酰亚胺薄膜上金属镍薄膜的热处理工艺，金属镍薄膜有800纳米厚，是由磁控溅射仪制备。想通过对镍薄膜退火消除溅射后薄膜电阻的内部缺陷，提高薄膜电阻的稳定性。查了很多资料，都没有找到有关镍薄膜的热处理工艺资料，真是心急如焚！望高手指点一二！我的QQ:596542321

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